为满足纳米级电子束曝光系统的要求，系统设计了一个纳米图形发生器和数模转换电路，并采用机控制。机通过图形发生器和数模转换电路去驱动等仪器的扫描线圈，从而使电子束偏转并控制束闸的通断。通过可以对标准样片进行图像采集以及扫描场的校正。配合精密定位的工件台，还可以实现曝光场的拼接和套刻。利用配套软件也可以新建或导入多种通用格式的曝光图形。
曝照所需电子束是由既有的产生的电子束(离子束)提供。
电子射出后，受数千乃至数万伏特之加速电压驱动沿显微镜中轴向下移动，并受中轴周围磁透镜作用形成聚焦电子束而对样本表面进行扫描与图案刻画。扫描方式可分为循序扫描与矢量扫描。
扫描过程中，电子束的开启与阻断是由电子束阻断器所控制。电子束阻断器通常安装在磁透镜组上方，其功效为产生一大偏转磁场使电子束完全偏离中轴而无法到达样本。
(三) 阻剂(光阻)
阻剂是转移电子束曝照图案的媒介。阻剂通常是以薄膜形式均匀覆盖于基材表面。高能电子束的照射会改变阻剂材料的特性，再经过显影后，曝照(负阻剂)或未曝照(正阻剂)的区域将会留在基材表面，显出所设计的微影图案，而后续的制程将可进一步将此图案转移到阻剂以下的基材中。
EBL和EBD的区别在哪？
重汽配备的WABCO ABS系统，带有EBL功能，其就是电子制动力调节系统。提起制动力分配大家可能会顷纤首先想到EBD，其实EBL是比EBD控制更的电子制动力分配调扰乎游节功能。
EBD=Simplified Brake Slip Balancing 简单的制动力调节
是基于ABS轮速差别，缓销根据前后桥滑移差别调节后桥制动压力
这个ABS的延伸功能在车辆减速度低于0.25g时不能
EBL=Electronic Brake force Limitation 可以理解为是的制动力调节分配系统，
从2001年开始批量生产，是基于ABS轮速差别，根据前后桥滑移差别调节后桥制动压力
制动压力传感器允许减速度大于0.1g时，几乎包括了所有的制动。
EBL在当前桥失去制动力的情况下， 后桥会进行全制动，通过压力传感器信号计算得到额定的制动减速度会大于实际车辆的减速度。EBL因此会增加后桥的制动压力直到达到额定减速度为止，或者达到大压力位置。
缓速器对汽车的作用
缓速器是大型车辆（卡车、客车）的辅助制动装置，使质量较大的车辆平稳减速而不消耗制动系统，小车没有。
目前用的较多的是电磁缓速器，还有液涡轮缓速器：
电磁缓速器：相当于在传动轴上装了个“发电机”，不通电时，无接触无磨损。需要减速时，司机将仪表板上的开关打开，传动轴便受到电磁场的阻力，达到制动的目的。再踩油门时会自动断电。优点是无磨损，缺点是结构庞大。
液涡轮缓速器：在变速箱箱壳后端增加一个涡轮室，当制动电路开启后，使变速箱油在涡轮中加压产生阻尼达到制动效果，无磨损但要增加散热，国内少有。
另外还有一些辅助制动结构：
排气辅助制动：大型柴油车发动机排气歧管与排气管连接处有一个碟阀，保持挂挡状态，拨动仪表板上的制动关闭，此阀关闭，造成发动机闷车从而达到制动效果，再踩油门时它会自动打开。结构简单但有损发动机。
发动机制动：制动信号使排气阀关闭不严，活塞上下运动均受到气流阻尼而产生制动力。无磨损结构紧凑，国内尚无。
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