德语Bordnetzsteuergeraat,直译过来就是车载电网控制单元,顾名思义,其重要的功能是电源的分配,保险丝过来的KL30通过BCM经由继电器构成KL15\KL50\KL87各种整车供电。大众系带物理钥的车辆,插入钥匙后,扭动一档即完成KL15接通,整车控制器完成上电自检,再扭动一档即完成KL50启动。如下图所示,BCM直接连接至点火启动开关D完成启动操作。
. 车身其他舒适系统控制,BCM还要完成其他常规的控制,如四车门锁的控制及前盖和尾门的控制,定速巡航的控制,车身舒适系统CAN网络的路由等。
我们再来看下ECU,即发动机控制器,在上汽大众的售后维修电路图中代号J623。
以SVW来举例Tiguan为例,发动机控制器有1.4 T \1.8T\2.0T, 有A、B个插头,对应T60a\T94b,其中T60a连接发动机线束,对车辆的短发进行控制,T94a连接的是车身大线束,对长发进行控制,如油门踏板,加速踏板,档位信号等。
为满足纳米级电子束曝光系统的要求,系统设计了一个纳米图形发生器和数模转换电路,并采用机控制。机通过图形发生器和数模转换电路去驱动等仪器的扫描线圈,从而使电子束偏转并控制束闸的通断。通过可以对标准样片进行图像采集以及扫描场的校正。配合精密定位的工件台,还可以实现曝光场的拼接和套刻。利用配套软件也可以新建或导入多种通用格式的曝光图形。
曝照所需电子束是由既有的产生的电子束(离子束)提供。
电子射出后,受数千乃至数万伏特之加速电压驱动沿显微镜中轴向下移动,并受中轴周围磁透镜作用形成聚焦电子束而对样本表面进行扫描与图案刻画。扫描方式可分为循序扫描与矢量扫描。
扫描过程中,电子束的开启与阻断是由电子束阻断器所控制。电子束阻断器通常安装在磁透镜组上方,其功效为产生一大偏转磁场使电子束完全偏离中轴而无法到达样本。
(三) 阻剂(光阻)
阻剂是转移电子束曝照图案的媒介。阻剂通常是以薄膜形式均匀覆盖于基材表面。高能电子束的照射会改变阻剂材料的特性,再经过显影后,曝照(负阻剂)或未曝照(正阻剂)的区域将会留在基材表面,显出所设计的微影图案,而后续的制程将可进一步将此图案转移到阻剂以下的基材中。