目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器。
硅压阻式压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的，具有较高的测量精度、较低的功耗和极低的成本。惠斯顿电桥的压阻式传感器，如无压力变化，其输出为零，几乎不耗电。
MEMS硅压阻式压力传感器采用周边固定的圆形应力杯硅薄膜内壁，采用MEMS技术直接将四个高精密半导体应变片刻制在其表面应力大处，组成惠斯顿测量电桥，作为力电变换测量电路，将压力这个物理量直接变换成电量，其测量精度能达0.01-0.03%FS。
电容式压力传感器利用MEMS技术在硅片上制造出横隔栅状，上下二根横隔栅成为一组电容式压力传感器，上横隔栅受压力作用向下位移，改变了上下二根横隔栅的间距，也就改变了板间电容量的大小，即△压力=△电容量。
这种汽车压力传感器用于调节带油压助力器的制动系统的油压。它可以检查蓄能器的压力、输出油泵的开或关信号以及油压的异常报警。其内部装有半导体应变仪，在应变仪的帮助下，电阻也随着形状的变化而变化；此外，还有一个金属膜片，通过它，金属膜片应变
汽车压力传感器的作用
这种汽车压力传感器用于调节带油压助力器的制动系统的油压。它可以检查蓄能器的压力、输出油泵的开或关信号以及油压的异常报警。其内部装有半导体应变仪，在应变仪的帮助下，电阻也随着形状的变化而变化；此外，还有一个金属膜片，通过它，金属膜片应变仪可以检测到压力变化，并将其转换成电信号，然后输出到外部。。然后，车编辑耐心地向朋友们介绍车压传感器的功能。
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